文章来源：由「百度新聞」平台非商業用途取用"https://baijiahao.baidu.com/s?id=1710140030444333924&wfr=spider&for=pc"

石英玻璃是半導體制造行業的重要耗材，目前我國石英玻璃材料、制品集中在中低端市場，高端市場長期被國外企業占據。石英玻璃材料可用于制作半導體、電光源器、半導通信裝置、激光器、光學儀器、醫療設備和耐高溫耐腐蝕的化學儀器，廣泛應用于化工、電子、冶金、建材以及國防等工業。根據中國粉體網統計，石英玻璃材料的下游應用行業中半導體行業占比最大，達60%以上。根據Maximize Market Research數據，2019年全球半導體材料中國大陸地區市場份額相較之前提升明顯達到16.67%。
影響石英玻璃質量的主要是其氣泡數量、金屬雜質含量和羥基含量，這些缺陷與原料和制備方法密切相關，是衡量石英玻璃質量的主要標準。石英玻璃可分為天然石英玻璃以及合成石英玻璃，目前市場上較主流的制備石英玻璃的工藝包括電熔法和氣煉法制備天然石英玻璃，化學氣相沉積法制備合成石英玻璃。相比含有較高羥基含量的氣熔石英玻璃材料，電熔石英玻璃材料的耐高溫性更突出，被廣泛用于生產半導體所需要的石英器件，且成本更低；合成工藝中石英玻璃雜質含量低，能夠被應用于高端應用場景中。
半導體芯片制造工序繁多，生產過程需要使用到多種輔助性石英器件，因而石英玻璃材料是半導體芯片生產過程中的關鍵性輔助耗材。一般半導體玻璃石英器件可以分為高溫區器件和低溫區器件兩大類：高溫區器件主要應用于需要在高溫環境中直接或間接與硅片接觸的擴散氧化等環節，一般采購電熔石英玻璃材料通過熱加工生產；低溫區器件主要用于在低溫環境中使用的刻蝕環節，一般采購氣熔石英玻璃通過冷加工生產。
由于半導體制造商對石英玻璃材料的純凈度、規格精度、質量穩定性要求較高，半導體石英玻璃材料從上游原材料到下游制品均設置了較為嚴格的認證壁壘。石英玻璃材料廠商先將石英玻璃材料產品銷售給下游的器件加工商，再經由加工商將石英玻璃材料通過機加工或熱加工制成各類石英器件銷售給半導體設備廠商，最后經設備商將包含石英器件的整套設備銷售給芯片制造商；由于半導體石英器件在芯片過程中會發生一定損耗，器件加工商還會將產品直接銷售給芯片制造商用以替換。目前只有通過指定的設備廠商認證的石英玻璃及制品供應商才有資格進入產業鏈體系。


關鍵字標籤：石英管加工